产品规格 彩色激光同轴位移计 CL-3000 系列

光学单元・传感器探头 - Quad 式

型号

CL-L007N*1

CL-L015N*1

CL-L030N*1

CL-L070N*1

CL-L150N*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

CL-L150 *1

基准距离

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直线性

± 2.1 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

± 5.65 µm *2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直线性

± 0.91 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm *2

± 4.65 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

光点直径

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

ø 1000 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP67(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

环境温度

0 至 50℃

相对湿度

85% RH 以下(无凝结)

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS

前部:SUS 后部:铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 140 g

约 180 g

约 200 g

约 280 g

约 380 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。

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光学单元・传感器探头 - 点式

型号

CL-P007N*1

CL-P015N*1

CL-P030N*1

CL-P070N*1

CL-P150N*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-P150 *1

基准距离

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

± 35 mm

直线性

± 0.96 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

± 5.65 µm *2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

± 15 mm

直线性

± 0.55 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm *2

± 4.65 µm *2

分辨率

0.25 µm

光点直径

ø 50 µm

ø 25 µm

ø 38 µm

ø 50 µm

ø 75 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP67(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

环境温度

0 至 50℃

相对湿度

85% RH 以下(无凝结)

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS

前部:SUS 后部:铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 140 g

约 180 g

约 200 g

约 280 g

约 380 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。

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型号

CL-S015N*1

CL-V020N*1

CL-V050N*1

CL-PT010N*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-S015 *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

基准距离

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.0 mm

± 1.3 mm

± 4 mm

± 0.3 mm

直线性

± 0.35 µm *2

± 0.45 µm *2

± 1.4 µm *2

± 0.22 µm *2

高精度测量范围

测量范围

− 0.2 mm/− 1.0 mm

± 0.5 mm

± 1.6 mm

± 0.15 mm

直线性

± 0.25 µm *2

± 0.38 µm *2

± 1.3 µm *2

± 0.2 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

0.25 µm *6

光点直径

ø 10 µm

ø 20 µm

ø 40 µm

ø 3.5 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP50

IP40 真空用除气结构 *4

IP64(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

使用环境温度

探头

-20 至+70°C

-20 至+200°C

0 至+50°C

光学单元

0 至+50°C

相对湿度

85% RH 以下(无凝结)

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.45 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

真空

支持真空

支持超高真空 *5

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

0.013% of F.S. /℃

0.015% of F.S. /℃

0.1% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS303/304

SUS304

前部:SUS 后部:铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 350 g

约 100 g

约 1100 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*4 粘贴附带的贴纸后,相当于IP50。
*5 在10^-6 Pa 环境下经过动作验证。
*6 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。(仅限 CL-PT010/CL-PT010N 平均次数 4096 次测量的值。)

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